某專門生產(chǎn)半導體配件公司采用移動型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390 對高端不銹鋼管, 閥門和歧管等配件進行檢漏, 以驗收管件是否達標. 其產(chǎn)品漏率值需要達到 10-9mar l/s.
伯東 Pfeiffer 移動型氦質(zhì)譜測漏儀 ASM390 技術(shù)參數(shù):
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型號
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ASM390
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檢測氣體
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4He, 3He, H2
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最小檢測漏率
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真空模式: 1X10-12 mbar l/s
吸槍模式: 1X10-8 mbar l/s
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對氦氣的抽速
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10 l/s
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前級泵抽速
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35 m3/h
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進氣口最大壓力
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20 mbar
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無校準的啟動時間(20°C)
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2 min
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進氣口
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DN 40 ISO-KF
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響應時間
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< 1 s
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Interface, 選配
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RS-232, I/O, Ethernet
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噪音
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≤ 55 dB (A)
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重量
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125 kg
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尺寸(LxWxH)
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1072 x 455 x 1025 mm
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待檢漏產(chǎn)品:
半導體配件-不銹鋼管檢漏方法工作示意圖如下：
移動型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 優(yōu)勢:
1. 強大的抽空能力
2. 極短的測試時間
3. 大型彩色觸摸屏, 無需任何工具即可完全旋轉(zhuǎn)和拆卸
4. 符合人體工學設(shè)計, 移動性強
5. 完全符合 Semi S2 標準
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